Historie

Historie CVD začíná v polovině 19. století, jednalo se o pozorování procesů probíhajících v přírodních systémech. První CVD proces byl popsán Bunsenem už v roce 1852, jednalo se o proces vzniku hematitu během erupce vulkánu.[2] V roce 1861 byly popsány podobné syntézy jiných oxidů – Fe2O3, SnO2, TiO2, MnO a MgO.[3]

V roce 1890 byl popsán proces, který se dodnes využívá k přípravě čistého niklu. Jde o reakci zplyňování niklu v přítomnosti oxidu uhelnatého (CO), vzniklý tetrakarbonyl niklu (Ni(CO)4) se při teplotě 450 °C rozkládá zpět na kovový nikl.[4] V této publikaci byla poprvé popsána realizace teplotního gradientu, který je nezbytný pro vznik tetrakarbonylu niklu (350 °C) a jeho následný rozklad v jiné části aparatury.

V roce 1923 byla popsána příprava čistého wolframu rozkladem WF6 na elektricky žhaveném vlákně.[5] Tento princip byl pak dále využíván i k přípravě a čištění titanu, zirkonia, hafnia a thoria.[6] Poprvé byl použit iod jako reaktivní plyn pro transport kovů.

V roce 1930 a později bylo publikováno několik prací, které se zabývaly odpařováním kovů v přítomnosti reaktivních plynů – Cl2, HCl, apod..[7,8] Šlo např. o odpařování zlata v přítomnosti chloru, kdy vznikaly plynné chloridy AuCl a AuCl3 nebo vznik AlCl3 reakcí hliníku v přítomnosti chloru nebo chlorovodíku.

Od 50. let 19. století narůstal zájem o transportní reakce v plynné fázi a tím se i rychle zvyšovalo množství znalostí a vyvíjeli se dokonalejší technologie a aparatury. V dnešní době se setkáváme s mnoha modifikacemi CVD a PVD procesů.

Počet publikací na téma CVD

Počet publikací na téma CVD. Zdroj: http://scifinder.cas.org

Odkazy

  1. Binnewies, M.; Glaum, R.; Schmidt, M.; Schmidt, P. Anorg. Allg. Chem. 2013, 639, 219-229
  2. Bunsen, J. Prakt. Chem. 1852, 56, 53
  3. Saint-Claire Deville, Justus Liebigs Ann. Chem. 1861, 120, 176
  4. Mond, C. Langer, F. Quincke, J. Chem. Soc. 1890, 749
  5. E. van Arkel, Physica 1923, 3, 76
  6. E. van Arkel, J. H. de Boer, Z. Anorg. Allg. Chem. 1925, 148, 345
  7. Biltz, W. Fischer, R. Juza, Z. Anorg. Allg. Chem. 1928, 176, 121
  8. Fischer, R. Gewehr, Z. Anorg. Allg. Chem. 1932, 209, 17

Další kapitoly

Napsat komentář