Historie CVD začíná v polovině 19. století, jednalo se o pozorování procesů probíhajících v přírodních systémech. První CVD proces byl popsán Bunsenem už v roce 1852, jednalo se o proces vzniku hematitu během erupce vulkánu.[2] V roce 1861 byly popsány podobné syntézy jiných oxidů – Fe2O3, SnO2, TiO2, MnO a MgO.[3]
V roce 1890 byl popsán proces, který se dodnes využívá k přípravě čistého niklu. Jde o reakci zplyňování niklu v přítomnosti oxidu uhelnatého (CO), vzniklý tetrakarbonyl niklu (Ni(CO)4) se při teplotě 450 °C rozkládá zpět na kovový nikl.[4] V této publikaci byla poprvé popsána realizace teplotního gradientu, který je nezbytný pro vznik tetrakarbonylu niklu (350 °C) a jeho následný rozklad v jiné části aparatury.
V roce 1923 byla popsána příprava čistého wolframu rozkladem WF6 na elektricky žhaveném vlákně.[5] Tento princip byl pak dále využíván i k přípravě a čištění titanu, zirkonia, hafnia a thoria.[6] Poprvé byl použit jod jako reaktivní plyn pro transport kovů.
V roce 1930 a později bylo publikováno několik prací, které se zabývaly odpařováním kovů v přítomnosti reaktivních plynů – Cl2, HCl, apod..[7,8] Šlo např. o odpařování zlata v přítomnosti chloru, kdy vznikaly plynné chloridy AuCl a AuCl3 nebo vznik AlCl3 reakcí hliníku v přítomnosti chloru nebo chlorovodíku.
Od 50. let 19. století narůstal zájem o transportní reakce v plynné fázi a tím se i rychle zvyšovalo množství znalostí a vyvíjeli se dokonalejší technologie a aparatury. V dnešní době se setkáváme s mnoha modifikacemi CVD a PVD procesů.
Literatura
- Binnewies, M.; Glaum, R.; Schmidt, M.; Schmidt, P. Anorg. Allg. Chem. 2013, 639, 219-229
- Bunsen, J. Prakt. Chem. 1852, 56, 53
- Saint-Claire Deville, Justus Liebigs Ann. Chem. 1861, 120, 176
- Mond, C. Langer, F. Quincke, J. Chem. Soc. 1890, 749
- E. van Arkel, Physica 1923, 3, 76
- E. van Arkel, J. H. de Boer, Z. Anorg. Allg. Chem. 1925, 148, 345
- Biltz, W. Fischer, R. Juza, Z. Anorg. Allg. Chem. 1928, 176, 121
- Fischer, R. Gewehr, Z. Anorg. Allg. Chem. 1932, 209, 17